作者：沈德新,王渭源 单位：上海科学技术出版社 出版：《》 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKXZZ1997050050 DOC编号：DOCKXZZ1997050059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微工程(microengineering)是一门技术科学，它专门研究采用微电子工艺技术设计、材料合成、微机械加工、贴装、总装和封装，制造纳米、微米和毫米尺寸的实体三维结构微小型传感器和致动器，并利用这项技术把传感器、致动器以及信号和数据处理器集成在同一块基片上，构成专用集成微仪器(application-specific integrated microinstruments.ASIM)，进而构建复杂的微工程系统，或称集成微系统。微工程的基础

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