作者：张文栋,周兆英,叶雄英,才海男,崔天宏,王晓浩,熊继军 单位：中国兵工学会 出版：《测试技术学报》1996年第02期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCSJS1996020020 DOC编号：DOCCSJS1996020029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文从加速度传感器军民两方面的需求出发，介绍了MEMS制造技术及国外采用MEMS加工技术研制的几种一维和三维硅加速度传感器，在此基础上研究了集成加速度测量系统及其工作原理。

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