《微电子机械系统中构件的基本力学量检测》PDF+DOC
作者:王琪民,单保祥,连东侠,张培强
单位:中国力学学会;中国科学技术大学
出版:《实验力学》1997年第04期
页数:13页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFSYLX704.0000
DOC编号:DOCSYLX704.0009
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本文就近几年在MEMS(MicroElectroMechanicalSystems)基本力学量测量技术的最新发展及其特点、意义、进行了较全面的综述。内容包括:MEMS所用材料的基本力学参数测量(如E、G、μ),材料的摩擦与摩损的测量,MEMS结构内应力、应变的测量,结构的动态参数和机构运动速度的测量等,为MEMS的研究提供有益的参考。
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