作者：王壮凯,孙陆平,李令成 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1996年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ602.0140 DOC编号：DOCCGQJ602.0149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《脉动压力传感器研制》PDF+DOC1997年第02期 陶锡有 《医用压力传感器芯片制作》PDF+DOC1992年第02期 夏龙,周泓,汪文仙,王峰,周俊青 《利用SOI材料提高触觉传感阵列的性能》PDF+DOC1991年第11期 吕世骥,黄庆安,童勤义,袁璟 《用阳极氧化腐蚀工艺生产硅膜压力传感器》PDF+DOC1989年第05期 胡坐春

    • 介绍肼在硅微机械加工中的应用原理和方法．

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