《EG&GICSENSORS公司简介》PDF+DOC

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2. 《MEMS在医疗领域中的应用》PDF+DOC 微电子机械系统MEMS从80年代开始应用于医疗领域，其中产生了各种硅压力传感器和硅加速度计，以及一些自定义的特殊微结构.这些产品具有比其它类型的产品更多的优势，如体积小、性能稳定，且价格便宜，同时用来进行硅电子元件生产的大多数晶片加工仪器都可以用来生产这种硅传感器.由于医疗所需的传感器要特别可靠，而......
3. 《EG&G IC SENSORS》PDF+DOC EG＆G IC SENSORS公司于1982年由一群学院里的优秀学术研究者和微细加工技术商业化的先锋所创建，现已成为世界上微细加工行业最领先的公司。该公司从创建就一直是行业的开拓者，拥有众多给人深刻印象的“第一”，包括：第一个大规模生产一次性血压传感器；第一个推出低成本的加速度计；第一个推出硅微阀门......
4. 《恩德福克公司简介》PDF+DOC 恩德福克公司简介恩德福克公司位于美国加里福尼亚州南部圣胡安市（ＳａｎＪｕａｎＣａｐｉｓｔｒａｎｏ，ＣＡ），地处洛杉矾市和圣地牙哥市中间，距两市均约１００公里，从洛市乘车沿５号公路南行约一小时可达（见续页筒图）。该公司成立于１９４７年，４０多年来，一直..。...
5. 《一种用于集成化传感器的多晶硅的微机械加工新技术》PDF+DOC 用选择腐蚀多晶硅下面的氧化层的方法能制备出多晶硅微细加工的结构。该微细加工技术的优点在于其简单性和与常规集成电路的兼容性。由于多晶硅内部的压应力，使微结构的尺寸受到了限制，但通过退火可使内部压力减少。本文描述了将一个谐振多晶硅微桥和NMOS单片电路结合在一起的集成蒸汽传感器的制作方法。频率响应测量表......
6. 《微电机械系统商业化的现状和未来展望》PDF+DOC 2 0世纪 70年代MEMS/MST技术开始进入人们的生活。它给新产品带来的希望和梦幻及其应用使人们的生活发生了革命性变化。许多将这种技术的商业化视为发展目标的新公司纷纷成立。然而几年后事实证明 ，实现该技术的商业化是一个艰难的过程。MEMS是一项可以实现的技术 ，同时也是一项破坏性技术 ，它注定要......
7. 《压阻式压力传感器微结构塑性形变及影响》PDF+DOC 由于体硅微机械工艺制作绝压压阻式压力传感器的过程中，通过Si-Si直接键合形成的带真空腔的微结构在高温和大气压的作用下会产生塑性形变，对器件制作工艺中微结构发生的塑性变形及其对器件性能的影响进行了研究。基于Von Mises屈服准则和有限元仿真，微结构发生塑性变形的临界工艺条件可以通过比较微结构的最......
8. 《数字存储式示波器对机电参数的测量》PDF+DOC 数字存储式示波器在测试领域中有着广泛的用途。只要配用适当的传感器就能测量振动、加速度、角度、位移、功率以及压力等机电参数。机电测试中常用的传感器有：电阻应变片、压力传感器、轴编码器、线性变换差动变压器、加速度计、磁位置传感器等。很多数字存储示波器本身就有一套完整的数据检测系统，不需要外接计...
9. 《第七届多国仪器仪表展传感器产品展评》PDF+DOC 本届展览会参展的各种传感器，从测量参数看主要分为压力、加速度、流量、液位和温度五大类，广泛用于工业过程测控系统.从技术上看，其中许多传感器是15年或30年前设计的、工艺上作了一些发展和改进.另一方面，本次展览，也展示了近10年来传感器技术发展的最新成就，那就是微传感器及微传感器系统.下面将从二个方面......
10. 《硅压阻式力敏器件及传感器的稳定性》PDF+DOC 国外一些工业发达国家的半导体压力传感器已达到产业化、商品化的程度。我国从研制生产到使用仍处于小批量试制阶段，除了其它原因之外，传感器的稳定性方面的指标令人不够满意也是很重要的一个因素。 压力传感器的硅杯芯片是通过双面硅片加工工艺制成。正面用半导体平面工艺加工力敏...