《ANEWAPPLICATIONOFZrO2SOLIDELECTROLYTETHIN-FILM》PDF+DOC
作者:
单位:天津大学
出版:《Transactions of Tianjin University》1996年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFTJDY601.0170
DOC编号:DOCTJDY601.0179
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提出了ZrO2固体电解质薄膜的新应用,介绍了ZrO2栅MOS氧传感器的结构、工艺流程、导电机理及测试结果
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