作者：蒲勇 单位：东南大学 出版：《电子器件》1997年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ1997011190 DOC编号：DOCDZQJ1997011199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了一种热场式气体质量流量控制系统(以下简称MFC)的工作原理.对其核心部件传感器提出了新的设计制作方法。

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