作者：樊尚春,刘广玉 单位：北京航空航天大学 出版：《北京航空航天大学学报》1996年第02期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBJHK602.0060 DOC编号：DOCBJHK602.0069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于一种典型的微结构硅谐振压力传感器由多层不同材料构成的谐振子的实际结构特点，建立了被测压力与谐振子静挠度、谐振子固有频率的数学模型．计算和分析了谐振子的振动特性，给出了各复合材料层的几何参数、物理参数对其振动特性的影响规律．揭示了复合材料方形膜的压力频率特性，为设计该类谐振子提供了理论依据．

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