《LIGA技术研究与进展》PDF+DOC
作者:揭景耀
单位:东南大学
出版:《电子器件》1997年第02期
页数:8页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZQJ702.0030
DOC编号:DOCDZQJ702.0039
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本文综述了LIGA技术。介绍了国内外对LIGA技术的改进与推广,并讨论了LIGA技术在传感技术中的应用
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