《硅基红外焦平面阵列技术的新进展(Ⅰ)》PDF+DOC
作者:程开富
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《微纳电子技术》1997年第06期
页数:9页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTQ706.0030
DOC编号:DOCBDTQ706.0039
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主要介绍以硅为衬底的非本征硅、金属硅化物(Pd2Si,PtSi和IrSi)肖特基势垒红外探测器、GexSi1-x/Si异质结内光电发射红外探测器、硅基红外图象传感器、硅微测辐射热计等红外探测器焦平面阵列的新进展
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