作者：陈佳品,吴智政 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》1997年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ705.0080 DOC编号：DOCBDTQ705.0089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 获得精确的微机电系统模型是实现系统高精度控制的前提条件，但微系统某些固有特性给系统理论建模带来一定困难。本文以微加速度传感器为例，提出一种理论分析和实验相结合的建模方法，并给出了相应的实验电路。

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