作者：高晓萍 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1996年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1996040080 DOC编号：DOCGJDX1996040089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机械惯性传感器的技术应用及展望》PDF+DOC2015年第03期 马冲 《具有定制截面的大面积轻量红外像元》PDF+DOC2001年第02期 高 《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC1999年第01期 徐毓龙,徐玉成 《介绍两种国外微结构式传感器》PDF+DOC1995年第01期 刘忠玉,蔡丽梅 《单片集成MEMS技术》PDF+DOC2005年第03期 江建明,娄利飞,汪家友,杨银堂 《CMOS MEMS技术的现状及展望》PDF+DOC2004年第04期 胡明,崔梦,田斌,窦燕巍 《基于多孔硅牺牲层技术的压阻式加速度传感器的分析和设计(英文)》PDF+DOC2003年第07期 周俊,王晓红,姚朋军,董良,刘理天 《MEMS矢量水听器定位误差分析与测试》PDF+DOC2011年第06期 宋小鹏,张丛,赵玉林,尹彦梅,石归雄,薛晨阳 《新型传感器的发展前景》PDF+DOC2008年第14期 高慧芳 《微机械加工技术及其在传感器中的应用》PDF+DOC2013年第07期 齐向前

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