作者：马建旭 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1996年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1996040010 DOC编号：DOCGJDX1996040019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在过去的35年中，电子技术发展十分迅猛.电子工业正凭借它的优势，从每18个月使一个微芯片上半导体管数翻一番的速度运行着，并引起了电子工业的革命.在一个邮票大小的范围内制造出数百万个微单元器件已引起手提电话和个人计算机等制造领域的极大兴趣.利用微电子材料和工艺，可构造出微梁、槽、齿轮、薄膜以及电机，微电机能用来驱动原子以及打开或关闭激励微流量液体的微阀.这些机械元件的大小要用微米来计算.并且象半导体工业一样，一次能制造出数百万个元件。

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