作者：张光照 单位：中国电子信息产业发展院 出版：《世界电子元器件》1997年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSDYQ1997080250 DOC编号：DOCSDYQ1997080259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在过去几年里，微系统技术取得了长足发展，主要有两个原因：第一是市场需求对微系统技术发展产生的巨大推动力，第二是微电子微机械加工技术的发展为微系统技术奠定了有力基础。 微系统属于高新技术，它采用不同于传统机械加工的全新工艺，它的出现将在工业界引起深刻的变化。发达国家如美、日、德均投入巨资发展微系统技

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