作者： 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1997年第08期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1997080110 DOC编号：DOCGJDX1997080119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 日本电信电话公司研制出100kV的高加速热电子枪。人们希望利用X射线实现在晶片上复制下一代LSI图形的方法，但是为此必须要制作出高精度X射线掩模。要制作X射线掩模就要在由Ta.之类的重金属构成的X射线吸收体涂敷的抗蚀剂上用电子束进行图形刻划，然而分散于吸收体内的电子则破坏微细图形的形成。因此，需要分散于吸收体深部的高加速电子束。

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