作者：周仲浩,秦志伟,黄光周 单位：中国航天科技集团公司第五研究院510研究所 出版：《真空与低温》1997年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKDW701.0010 DOC编号：DOCZKDW701.0019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 叙述了智能化涡流薄膜厚度测量系统的组成、原理及控制关系，分析了保证测量不确定度很小的措施。指出了采用涡流测量薄膜厚度也是一种实用的测量方法。

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