《微型机电系统在化学分析中的应用》PDF+DOC
作者:孙彦平,孟晓雄
单位:中国化工信息中心
出版:《现代化工》1997年第07期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDHG707.0140
DOC编号:DOCXDHG707.0149
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微型机电系统在化学分析中的应用孙彦平(北方工业大学,北京100041)孟晓雄(航天总公司707所,北京100013)1MEMS的特点微型机电系统(MicroelectronicMechineSystem,MEMS),简称为“微机械”。它是采用半导体加..。
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