《白光干涉型Michelson光纤扫描干涉仪》PDF+DOC
作者:李雪松,廖延彪,李天初,方占军,王民明,方毓文
单位:中国计量测试学会
出版:《计量学报》1996年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJLXB604.0000
DOC编号:DOCJLXB604.0009
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介绍了一种白光干涉型Michelson位移传感器。Michelson干涉仪的一臂由光纤F-P腔构成,作为传感头;另一臂由电磁位移器带动的反射镜构成,提供相位补偿。理论分析和实验结果表明,在150μm的动态范围内,该传感器的位移测量重复性(2σ)达到05μm,测量不确定度为15μm。本文还提供了进一步提高测量精度和响应速度的方法
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