《Si(001)/α-Al_2O_3(11-02)(SOS)膜取向的表征》PDF+DOC
作者:朱居木,林理彬
单位:四川大学
出版:《四川大学学报(自然科学版)》1997年第02期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFSCDX702.0090
DOC编号:DOCSCDX702.0099
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通过理论分析提出了一种在Si(001)/α-Al2O3(11-02)SOS膜上,标定出Si[110]方向的方法,并在实验中得到验证.该法便于精确控制和检测制作薄膜的外延方向,为制作性能优异的SOS膜压力传感器提供了可靠的质量保证
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