作者：Harold Joseph,Roger H.Grace 单位：美国国际数据集团 出版：《电子产品世界》1997年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZCS1997080220 DOC编号：DOCDZCS1997080229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电加工系统(MEMS)正在引起人们极大的兴趣.MEMS器件现在可以做成传感器、致动器或机械结构.利用MEMS技术的各种产品正在进入我们的日常生活中——例如在灾难性撞车时起救生作用的气囊加速度计和监护病人时用于测量心率的一次性血压传感器.上述两项应在1996年就各耗用了1500万～2000万个MEMS器件.MEMS器件还在军事/航天、消费、工业与过程控制、能源管理和其它应用方面找到广泛的用武之地.最近形成的设计与生产基础设施，其中也包括许多

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