作者：茅盘松,陈德英 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》1997年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI706.0070 DOC编号：DOCMINI706.0079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 详细分析了微硅型扭摆式加速度计的动态行为与阻尼、谐振频率的关系，阐述了扭摆式加速度计的阻尼机理，提出了在再平衡反馈回路中加入低通滤波器以调整加速度计性能的方法

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