作者:赵玉珍,段宝岩 单位:中国电子科技集团公司第二研究所 出版:《电子工艺技术》1996年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZGY603.0040 DOC编号:DOCDZGY603.0049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 介绍了当前国际上(尤其是几个发达国家)关于微米、纳米技术及其在微型机械、微型机械电子系统以及在专用集成微型仪器等方面的应用

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