作者：于德利 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1996年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1996090010 DOC编号：DOCGJDX1996090019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在过去的5年中，利用大规模集成电路制造技术制造的象衍射和透射微小透镜等微光学元件引人注目.这一重要科技成就引起一场光学技术革命.美国Rockwell科技中心的Ed-ward应《Optical Engineering》特约对此进行了综述.利用微光学元件缩小仪器尺寸能够改进很多光电系统，从电视摄象机，可视电话、小型软盘存贮器到自动成像观测，光学中继器到高清晰度投影显示.微光学系统中所应用的象二元光学元件和塑料微光学元件复制等技术在过去5年发展过程中已经能够应用到集成技术中去.与此同时发展了另一门前沿科学，称为微机电(MEM)技术.MEM技术已经应用到汽车、机械工具、气压传动和通用微传感器上.微光机

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