《从F－22看第四代战斗机机载设备制造技术》PDF+DOC

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9. 《硅基热电堆真空传感器的制造技术》PDF+DOC 发展了一种与CMOS工艺完全兼容并可在商业化的1.2μm标准CMOS生产流水线上进行流片的硅基热电堆真空传感器的制造技术与流程。传感器为悬浮的多层复合薄膜结构，其上制作了n型多晶硅加热器和20对由p型多晶硅条和铝条构成的热电堆。利用标准制造工艺中铝层图形的掩蔽作用，使用干法刻蚀工艺一方面去除了传感器......
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