作者:郑养 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》1996年第02期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ602.0130 DOC编号:DOCCGQJ602.0139 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 综合分析比较了各种微传感器中悬隔膜材料和制造工艺技术的优缺点,从中选择工艺简单易行、性能稳定可靠以及与微电子技术相容的微传感器悬隔膜材料和制造工艺技术,以便提高微传感器成品率.

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