作者：王亚强,金仲和,王跃林,丁纯 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》1997年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX1997030010 DOC编号：DOCZKKX1997030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《利用微机械技术的谐振器及集成光学传感器研究》PDF+DOC1995年第S1期 王跃林,金仲和,丁纯,徐义刚 《石英晶振真空传感器及真空计的研制》PDF+DOC1995年第05期 刘斌,徐电,王新中,陈抗生 《硅微机械谐振压力传感器技术的发展》PDF+DOC2017年第06期 叶俊,吴宏熊,叶晓伟 《微机械压力传感器残余应力研究进展与分析》PDF+DOC2018年第10期 刘沙皓伦,邢维巍,李昊霖,邹梦启 《新型力平衡微机械真空传感器研究》PDF+DOC1999年第04期 王跃林,江刺正喜 《电容式微加速度传感器的现状及研究方向》PDF+DOC1998年第10期 尤晖,李川奇,沈连官,周华 《全光型硅微机械流量传感器初探》PDF+DOC1998年第03期 丁纯,金仲和,喻浩,徐义刚,王跃林 《硅微加速度传感器过载能力的研究》PDF+DOC1996年第04期 陈宏,沈绍群,鲍敏杭 《力学中加速度及其测量方法的研究》PDF+DOC2010年第06期 苏赋文 《侧面扩散电阻的微机械加速度传感器的设计》PDF+DOC2008年第03期 董健

    • 在对静电激励硅微机械谐振真空传感器研究的基础上，实现了一种新型的粘滞型谐振真空计。并给出了理论分析和实验结果。测试表明，其有效量程为1～1．33&#215；103Pa。

    📙 相关资料

    1. 《利用微机械技术的谐振器及集成光学传感器研究》PDF+DOC 本文以硅微机械技术为基础研究了微谐振器和集成光学传感器。讨论了不同激励与检测方式下的谐振器的理论、工艺及其性能。并研究了以硅脊形波导为基础制作集成光学传感器的理论与工艺问题。...
    2. 《石英晶振真空传感器及真空计的研制》PDF+DOC 本文研究了音叉型石英晶体谐振器的谐振阻抗与周围气压的关系，设计了一种全新的自稳幅自跟踪晶体振荡电路和精密动态阻抗测试电路，以测量石英晶振的谐振阻抗。实验测得，当晶振周围气体压强从１０－２Ｐａ上升到大气压时其谐振阻抗相对变化也几乎以相同数量级单调增加，阻抗随气压变化关系与理论分析和国外文献报道一致。利......
    3. 《硅微机械谐振压力传感器技术的发展》PDF+DOC 现阶段，硅微机械谐振压力传感器应该是稳定性最好及精确度最高的传感器，在航空航天及工业等领域内广泛应用。按照硅微机械谐振压力传感器目前研究成果，对硅微机械谐振压力传感器工作原理进行阐述，分析不同类别硅微机械谐振压力传感器芯体结构，对硅微机械谐振压力传感器未来发展方向进行分析，希望能够增加对硅微机械谐振......
    4. 《微机械压力传感器残余应力研究进展与分析》PDF+DOC 对微机械压力传感器中的残余应力研究进展进行了综述。概述和总结了国内外微机械压力传感器的研究进展和存在问题，分析了残余应力对传感器的零点失调、零点温度系数、输出非线性和输出频率等方面的影响，总结了材料属性、加工温度等因素对残余应力的影响，展望了残余应力测量的发展和趋势。指出可以通过结构设计的优化等方式......
    5. 《新型力平衡微机械真空传感器研究》PDF+DOC 力平衡微机械真空传感器采用 ｐ＋＋硅自停止腐蚀技术和硅／玻璃键合技术制作，为了保持参考腔处在高真空状态，使用非蒸散吸气剂来吸附参考腔中的残余气体。研制了两种结构新型力平衡真空传感器，结果表明，采用力平衡模式工作可以扩展传感器的动态范围，灵敏度高。对力平衡电压与真空度的关系进行了研究，理论值与实测值符......
    6. 《电容式微加速度传感器的现状及研究方向》PDF+DOC 综述了典型的电容式微加速度传感器的工作原理、结构和特点，并对这类传感器的若干关键技术及研究方向进行了探讨。...
    7. 《全光型硅微机械流量传感器初探》PDF+DOC 介绍一种新颖的全光型硅微机械流量传感器。给出该传感器结构及工作原理的理论分析，并阐述传感器样品的测试及结果。流量传感器具有带脊型波导的悬臂梁结构。悬臂梁用作器件的敏感区，而检测光束可以在脊型波导中传输。...
    8. 《硅微加速度传感器过载能力的研究》PDF+DOC 过载能力是加速度传感器的重要参数之一，缺少过载能力是早期硅微机械- 岛结构的加速度传感器未能实用的重要原因.本文采用微机械限位结构解决了梁-岛结构压阻式加速度传感器的抗过载能力，并对设计进行了优化.采用这种方法使量程在50gn以下的器件具备了1000gn以上的过载能力，达到了实用的要求.本文还对测量......
    9. 《力学中加速度及其测量方法的研究》PDF+DOC 讨论了加速度与受力、运动方向之间的关系。对几类测量加速度的微机械式加速度传感器进行了讨论，并针对每种类别分别选取一种典型的结构，分析了内部的工作原理。通过比较各类传感器的差异和联系，总结了一般加速度传感器的共同特征。...
    10. 《侧面扩散电阻的微机械加速度传感器的设计》PDF+DOC 给出了一种新型的侧面扩散电阻的硅微机械加速度传感器的设计和制造方法.硅微机械加速度传感器采用压阻式双悬臂梁整体式结构.两个结构相同分布方向相反的悬臂梁采用DRIE工艺加工，在每个梁的侧面通过硼扩散形成两个压敏电阻，四个压敏电阻构成惠斯痛全桥连接，在悬臂梁的根部采用DRIE工艺形成电隔离窄沟槽，并淀积......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。