作者：谢大刚 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1996年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1996010120 DOC编号：DOCYBJS1996010129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文详细讨论了金属薄膜传感器技术与其它技术的优劣比较，金属薄膜压力传感器的基本结构、生产工艺及其应用情况。

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