作者：王鑫,沈平,张兴宇 单位：华北计算技术研究所 出版：《计算机工程与应用》2016年第22期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJSGG2016220490 DOC编号：DOCJSGG2016220499 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 固化炉是微电子制造过程的重要设备，它内部的温度分布具有大时滞、强耦合、非线性的特点。针对固化炉温度模型复杂和加热板热效应耦合的问题，将最小二乘法及阶跃响应法相结合，在工作点附近对固化炉温度建立一阶惯性延时模型，基于扰动观测器(disturbance observer)对芯片固化炉设计了解耦控制系统，实现了不同加热板之间的解耦控制。仿真和实验结果表明，该解耦控制方法能够抑制加热板之间的耦合影响，超调和稳态误差都较小，在过程控制中的同类系统中有较好的推广应用价值。

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