《SnO_2光敏、气敏元件的性能研究》PDF+DOC
作者:王岚,何敬文,王给祥,刘秀英,李春鸿
单位:中国真空学会
出版:《真空科学与技术学报》1996年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZKKX1996030080
DOC编号:DOCZKKX1996030089
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报道了用常压蒸发法制备的SnO2薄膜的光敏性能和用烧结法制备的圆珠状气敏元件的气敏性能。初步探讨了其结构与机理。指出进行集光敏、气敏于一体的传感器的研究。
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