作者：陆惠宗,屠明亮,纪晨东,董超,袁巨龙 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2016年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2016020290 DOC编号：DOCYQXB2016020299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 非接触式纳米精度位移测量在科研和工业生产中有重要应用价值。本文阐述了一种基于激光聚焦偏移原理测量微小位移的方法，首先分析了此方法的测量精度、误差及在所选光学元器件下的量程，进而描述了实验装置，并利用该装置对一个平面反射镜的微小位移进行了测量，结果显示位移测量精度优于10 nm(1σ)，与理论计算的结果吻合。实验结果表明，该方法对测量微小位移可达nm精度，可应用于工业生产中对主轴振动、轴承球圆度等的在线精密测量。

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