作者:贾瑞皋,冯冠平 单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版:《压电与声光》1997年第06期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYDSG706.0060 DOC编号:DOCYDSG706.0069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 圆形晶片厚度切变石英谐振器是常用的力敏谐振器。它有固定的设计谐波次数和谐振频率。文章介绍了以设计频率为三次谐波、5MHz的AT-切型谐振器为力敏元件的力传感器在不同电路中分别振动在基频、3次谐波、5次谐波和7次谐波四个谐振频率,并对其力敏特性进行了实验研究。分析了用提高谐振频率的方法提高力灵敏度的可行性和局限性。根据石英谐振器振动在不同谐振频率时力灵敏度的温度特性,找到了温度变化时由力灵敏度温度系数造成的测量误差的消除方法,分析比较了这种方法和选取特定施力方位角消除上述误差的方法之间的差别和适用范围,并找到了在一定温度范围内可同时测量力(压力)和温度的石英传感器的设计原理。

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