作者：毅力 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》1997年第02期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS702.0030 DOC编号：DOCDGZS702.0039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 扼要介绍微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的发展及市场，包括微陀螺仪、微传感器、微加速度计、微电动机等几种代表性产品的封装技术，目前存在问题和今后的发展方向，并发表了笔者的见解

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