作者：刘劲松,田陆仙,李孟秋 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1997年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS705.0020 DOC编号：DOCYBJS705.0029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为提高激光烧蚀加工的尺寸精度，将自聚焦测量法应用于激光烧蚀加工的深度测量。研究了自聚焦传感器的测量原理并导出了被测物面深度与光电探测器成象之间的关系，据此分析了各参数对测量分辨率的影响。结论对这种传感器的设计具有重要指导意义。

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