作者：揭景耀 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1997年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1997010150 DOC编号：DOCCGJS1997010159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • LIGA是德文：LI(Rontgen Lithogra-phie)、G(Galvanik)和A(Abformung)三词词头拼合而成.意思是X射线光刻、电铸成型和塑料铸模三个手段顺序组合，进行操作的一种新技术，它是微细加工的一种新方法.它的典型工艺过程见图1([1.4])。

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