作者:赵志诚 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》1997年第07期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS707.0000 DOC编号:DOCYBJS707.0009 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微电子机械技术的现状与发展》PDF+DOC1997年第06期 赵志诚 《MEMS技术的现状和发展趋势》PDF+DOC2001年第01期 刘光辉,亢春梅 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC1997年第03期 刘靖,石庚辰 《CMOS MEMS技术的现状及展望》PDF+DOC2004年第04期 胡明,崔梦,田斌,窦燕巍 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC2002年第01期 赵晓峰,温殿忠 《微机械加工技术与微传感器》PDF+DOC2001年第05期 虞承端 《微型及超微型压力传感器的开发》PDF+DOC2009年第S1期 王冰,尤彩红,王文襄 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2007年第01期 刘成刚 《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC2007年第05期 荣烈润
  • 微电子机械技术是国际上新兴的科学前沿,它的发展会象微电子技术那样引发一场新的产业革命。本文介绍了微电子机械技术的主要工艺以及在微结构、微传感器、微执行器和微系统方面的研究进展,并对今后的研究动态进行了论述

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