《采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器》PDF+DOC
作者:S.Marco
单位:中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心
出版:《中国检验检测》1997年第01期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDJL701.0120
DOC编号:DOCXDJL701.0129
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采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器S.Marco,等1.引言高性能的硅压阻式压力传感器已广泛应用于工业环境中,然而在生物医学方面,若利用硅压阻式压力传感器进行介入性测量以直接监视被测物,则将在大小尺寸、准确度和灵敏度方面受到严格..。
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