《球、柱面变间隙电容传感器的精密测量研究》PDF+DOC
作者:晏磊
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》1996年第02期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB602.0050
DOC编号:DOCYQXB602.0059
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本文对球、柱面间隙电容传感器进行了分类,定义了几个重要参数,将误差分为电路和机械的,并完成了理论与实验研究。文章以精密的静电陀螺为例,研制了转子位移电容分辨率标定装置,使陀螺转子相对位移分辨率、零点稳定度可标定到0.01μm量级
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