作者：薛洪福 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1997年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS705.0030 DOC编号：DOCYBJS705.0039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《S枪磁控溅射镍薄膜温度传感器》PDF+DOC1996年第02期 凌明芳,郝永德,林洪,陈卢金 《压力传感器和温度传感器新品集锦》PDF+DOC1996年第06期 《漫谈温度传感器的选择》PDF+DOC1997年第12期 Dan Strassberg 《铜薄膜电阻温度传感器的研制》PDF+DOC1993年第04期 李光云,陈佩娴,杨年光,张振昭,曾广兴 《镍膜热敏电阻的研究》PDF+DOC1990年第05期 刘秀蓉,周鸿仁,恽正中 《高速热响应铂膜温度传感器》PDF+DOC1989年第05期 绪方一雄,吴再丰 《制作簿膜铂温度传感器的新材料——高浓度铂浓胶》PDF+DOC1985年第03期 俞守耕,康本潮,刘婀娜 《镍薄膜温度传感器》PDF+DOC1989年第02期 周鸿仁,刘秀蓉,恽正中 《微电子机械系统/微光学电子机械系统的特性及应用》PDF+DOC2001年第04期 李萍 《我国自主研发的新北斗探空系统达到世界水平》PDF+DOC2015年第19期 机经

    • 为了用ＣＭＯＳ工艺与微电子机械加工系统相容技术研制一种温度传感器。对其所用的５种多晶硅层的电阻温度关系及其可重复性进行了实验研究。测得材料的基准温度电阻，电阻温度系数及能够确定传感器工作范围的临界温度。找到适于作传感器的两种多晶硅层。

    📙 相关资料

    1. 《S枪磁控溅射镍薄膜温度传感器》PDF+DOC 本文分析了薄膜温度传感器制造的难点，提出降低内应力的方法，应用正交试验技术得出了最佳工艺条件，应用S枪磁控溅射方法和薄膜工艺制成了零电阻分别为100Ω、500Ω、1000Ω的镍薄膜电阻元件，其电阻温度系数达到德国DIN43760标准。...
    2. 《压力传感器和温度传感器新品集锦》PDF+DOC 压力传感器和温度传感器新品集锦陶瓷压力传感器ＴＳＭ公司的ＰＴ１８和ＰＣ３０陶瓷压力传感器是用高纯度Ａｌ２Ｏ３氧化铝制造的，具有很高的耐化学和耐腐蚀性能。传感元件的膜片具有一个直接融接到其内面上的平衡四有源臂惠斯登电桥。这就可保证最佳的稳定度、可重复性..。...
    3. 《漫谈温度传感器的选择》PDF+DOC 用温度传感器来测量温度，是一个老生常谈的课题，而且许多人对接触式温度传感器讲起来可能是头头是道，但真正用起来却未必能应付自如，也许还得行家才行。但如果能弄清还有几种可替代的选择，并了解更多的知识，那就更对您的工作有利而无弊。...
    4. 《铜薄膜电阻温度传感器的研制》PDF+DOC 本文分析了铜膜电阻温度传感器的工作原理，介绍了光刻掩模板的图形设计和制造工艺，并对实验结果进行了讨论。...
    5. 《镍膜热敏电阻的研究》PDF+DOC 介绍一种新型的温度传感器——镍膜热敏电阻。该传感器的优良特性已为人们所关注。本文着重探讨镍膜热敏电阻的制作工艺条件对其性能的影响。同时介绍了作者研制的镍膜热电阻的特性和主要技术指标。镍膜热敏电阻是一种很有开发前景的感温元件。...
    6. 《高速热响应铂膜温度传感器》PDF+DOC 1.前言松下电子器件公司开发的高速热响应铂膜温度传感器是利用薄膜化铂的温度特性制成的电阻变化型精密温度传感器。由于在设计和制造中应用了多种先进技术，它具有热响应达到0.03s 的超高速、符合 DIN 43760标准的达到...
    7. 《制作簿膜铂温度传感器的新材料——高浓度铂浓胶》PDF+DOC 序言 铂由于具有良好的温度敏感性、抗腐蚀性、高熔点和电阻温度系数直线性，常常被选择来作为温度敏感材料。例如：一种40A Cr—400A Pt—40A Cr的传感器，外包一层适当厚度的SiO_2用来测量温度高到16000K的非电离的氩的热传递速度，一种P_5(几百埃)——C(1000—4000A)辐射......
    8. 《镍薄膜温度传感器》PDF+DOC 镍薄膜电阻器是近年来开发研究的新型测温元件。70年代末，日本报导了圆柱状镍膜测温电阻；1985年，联邦德国的Saufer-Cuinulus公司研制出其电阻温度系数等特性达到该国标准的镍薄膜电阻器(温度系数为6170ppm/℃)，为此获得1985年度联邦德国传感器发明大奖。...
    9. 《微电子机械系统/微光学电子机械系统的特性及应用》PDF+DOC 本文扼要介绍微电子机械系统和微光学电子机械系统的功能、主要产品的特性、可应用领域及未来发展趋势。...
    10. 《我国自主研发的新北斗探空系统达到世界水平》PDF+DOC 我国新研制的北斗探空系统性能已达到世界先进水平，具有优异的探测可重复性，设计工艺已趋于成熟。这将使得我国高空气象观测系统在天气预报和气候监测中发挥越来越重要的作用。中国气象局基于北斗卫星导航系统，组织开展了新型测风探空仪的研制工作，对探空仪温湿压传感器进行了整体换型，并采用北斗/GPS混合导航模式进......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。