作者：张连春 单位：辽东学院 出版：《辽东学院学报(自然科学版)》1997年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDDFZ1997040110 DOC编号：DOCDDFZ1997040119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文对微电子机械技术的组成、发展及现状做了全面综述，客观地预测了微电子机械的应用前景，简要地介绍了微电子机械的加工机理及基本步骤。

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