作者：倪学,韩雪冰 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》1996年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM602.0150 DOC编号：DOCGXJM602.0159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍一种新型结构光栅测微传感器，测量范围０～２０ｍｍ，采用双轴直线运动轴承导轨，结构新颖紧凑，测量精度为&#177；１μｍ。

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