作者：陈宏,沈绍群,鲍敏杭 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1996年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1996040000 DOC编号：DOCCGJS1996040009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 过载能力是加速度传感器的重要参数之一，缺少过载能力是早期硅微机械- 岛结构的加速度传感器未能实用的重要原因.本文采用微机械限位结构解决了梁-岛结构压阻式加速度传感器的抗过载能力，并对设计进行了优化.采用这种方法使量程在50gn以下的器件具备了1000gn以上的过载能力，达到了实用的要求.本文还对测量器件过载能力的落锤法所产生冲击加速度的规律和标定方法进行了研究，并建立了测试系统，对器件进行了冲击过载测试。

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