作者：欧阳德利 单位：东南大学 出版：《电子器件》1997年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ1997011040 DOC编号：DOCDZQJ1997011049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用C型和E型整体平膜片结构，制作了0.1～60MPa量程范围的合金薄膜压力传感器.为实现0.1MPa以下低微压力的测量，提出了新颖的EI型力学结构.本文叙述了该结构的工作原理、设计依据、以及应用微细加工技术的工艺特点。

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