作者:朱作云,李跃进,柴常春,贾护军,李跃进 单位:西安电子科技大学 出版:《电子科技》1997年第02期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZKK702.0080 DOC编号:DOCDZKK702.0089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高温压力传感器温度特性的改善》PDF+DOC1997年第05期 姚素英,毛赣如,曲宏伟,张维新,张荣 《一种多晶硅高温压力传感器》PDF+DOC1998年第06期 张荣,曲宏伟,王涌萍,阎富兰,崔金标,田莉萍,张维新 《高性能多晶硅压力传感器的研制》PDF+DOC1993年第01期 朱秀文,侯曾燏,米健 《掺杂浓度对多晶硅电阻温度系数的影响》PDF+DOC1990年第06期 石争,毛赣如 《金属薄膜温度传感器的设计》PDF+DOC1989年第04期 武蕴忠,孙承龙,徐梅芳,褚卫兵,王渭源 《温度/光传感器》PDF+DOC1986年第06期 黄玉奎 《硅压阻压力传感器的非线性温度特性》PDF+DOC1987年第04期 黄鸿雁 《可在高温条件下工作的压力传感器》PDF+DOC1987年第03期 秦秋石,刘通 《激光诱导扩散制备硅压力传感器的扩散电阻》PDF+DOC1989年第05期 王英民,宋登元 《F-P光纤压力传感器的温度特性研究》PDF+DOC2008年第03期 郭振武,孙桂玲,李维祥
  • 文中对压力传感器中用扩散法和离子注入法制作的电阻的温度系数进行了研究。实验结果表明,同扩散法制备的电阻相比,采用离子注入法制备的电阻,其温度系数更小,且阻值能够精确控制

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