作者：任建军,杨恒,李昕欣,沈绍群,鲍敏杭 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1997年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1997040000 DOC编号：DOCCGJS1997040009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出并利用“掩模-无掩模”腐蚀的方法形成了一种新型单面多层结构的硅微压传感器，该传感器针对用体微机械双面加工的硅压阻式压力传感器的不足，从结构上给予了改进，文中给出了理论分析和实验结果。研制的微压传感器在400Pa的微小量程下，输出可达34mV/5V，非线性仅为&#177；0.6％F.S。

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