作者：刘志钢,张玉英,牛文成 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1997年第03期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1997030110 DOC编号：DOCCGJS1997030119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 固态氧敏传感器采用Si/LaF_3/Pt场效应结构([1.2])，因老化使长期稳定性变差.为此本文讨论了四方面内容：1.固体电解质膜LaF_3的制备；2.对LaF_3膜退火多晶化处理，以及表面特性的改善措施；3.有关LaF_3膜退火多晶化及活化处理技术参数；4.传感器特性的研究.并对这种室温氧传感器用做生物传感器的可能性也作了讨论。

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