《采用光栅成像原理的光栅位移传感器》PDF+DOC
作者:蒋静琪
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1997年第12期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS712.0010
DOC编号:DOCYBJS712.0019
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本文从光栅成像理论出发,导出了具有结构简单,且能在大间隙下工作的光栅成像型位移传感器。并系统地探讨了这种传感器的理论,给出其实验结果。
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