《数字式精密孔径测量系统及其传感器》PDF+DOC
作者:李均
单位:北京长城航空测控技术研究所
出版:《测控技术》1996年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFIKJS1996020110
DOC编号:DOCIKJS1996020119
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介绍一种微机精密孔径测量系统的测量原理、数字电容式传感器的工作原理、系统的测量方法和标定方法等。孔径的测量精度优于1μm。
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