作者：王洪业 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1997年第11期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS711.0030 DOC编号：DOCYBJS711.0039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了基于离子束溅射工艺，生产高性能薄膜压力传感器的设计与工艺要点，提供实例及若干关键数据

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