《采用快速微分输出的氯气传感器》PDF+DOC
作者:李昕欣,郎海宁,庞世信
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《半导体技术》1997年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTJ703.0050
DOC编号:DOCBDTJ703.0059
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介绍了一种新型氯气传感器。通过对敏感材料的研究和采用混合集成电路工艺,使器件具有较高的可靠性和批量制造能力。通过对化学吸附平衡方式的敏感特性的研究,提出以微分输出信号作为检测信号的方式,从而实现了在3秒钟内响应输出的高敏感速度,并使器件实现频繁的重复测量而重复性误差很小。最后介绍了利用该传感器和微分检测电路构成的工业氯气报警系统
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