作者：尹福炎 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》1997年第06期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ1997060060 DOC编号：DOCCGSJ1997060069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了克服金属箔式应变片应变灵敏系数低及滞后、蠕变大的缺点，最近二十多年来，传感器技术界的研究重点是寻找一种价格便宜、能替代传统金属箔式应变片的新型传感元件.各种金属或合金及半导体、氧化物的薄膜应变片，由于其由真空蒸发、溅射、化学气相淀积或等离子气相淀积等工艺制成，因而具有几乎没蠕变、滞后等理想特性，特别是能获得电阻温度系数低而稳定的产品，并便于大批量生产，有利于制成高性能、价廉的传感器产品.薄膜技术作为现代传感器的四大关键工艺之一，已经引起传感器技术界的重视.本文简要介绍薄膜应变片的一般特性及其在压力传感器方面的应用，供有关人员参考。

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